制备多晶硅的工艺流程，涉及哪些到的化学方程式

2024年11月17日 01:46

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网友（1）：

制备多晶硅的工艺流程，涉及哪些到的化学方程式
主反应简单。副反应复杂。副反应是影响主反应的一系列复杂反应。
多晶硅制备过程中主反应也就4-6条，细了说。副反应可以编一本书。
压力不同，温度不同，流体力学变化都会影响副反应的巨大变化。
这就是工艺上控制不好的主要原因。有经验的其实也就是根据经验模糊控制。
行业内达不到精确控制。这里说的精确控制是没有一个可以把反应式跟准确估算出来的。
连个稍微具体的范围都没有。是目前硅材料制备工艺中全球都在攻克的难题。