PDMS是什么

PDMS（polydimethylsiloxane，聚二甲基硅氧烷）在室温下是一种无色、粘稠的液体，因此被称为硅油，是软光刻工艺中常用的聚合物。PDMS是一种廉价、安全和无毒的聚合物，具有良好的透光性和高化学惰性。它是一种具有低杨氏模量的高等级弹性体。由于PDMS既不粘附在AZ4620上，也不粘附在晶圆上，我们在实验中利用PDMS的优良特性，将平面微透镜阵列结构反转并转移到PDMS上，产生一个柔性图案。
倒模工艺开始之前，必须准备好PDMS溶液。由于PDMS在室温下不能固化，所以要添加特定的固化剂。PDMS溶液是通过将PDMS预聚物和固化剂以10:1的质量比混合制备的。在充分搅拌后，混合物中出现大量的气泡，并在真空桶中抽空（也可放置40分钟以上），直到混合气体完全被抽走。然后将先前准备好的平面微透镜阵列模板连接到离心机上，将少量的PDMS溶液慢慢倒在微透镜阵列上，让其慢慢散开并去除任何气泡，相应调整离心机的速度和时间。为了获得厚度均匀的PDMS网板（使用较厚的PDMS网板是为了防止在随后的负压过程中薄膜下垂），这里再次使用了多次旋涂的方式。在涂抹单层后，让薄膜静止约1分钟，然后进行软烘，在加热前寻找气泡，如果气泡没有完全排出，在加热过程中就会形成气泡。一旦旋涂过程完成，薄膜就在65℃的烘箱中烘烤2小时。最后去除薄膜，得到一个厚度约为450微米的柔性PDMS模板，其凹陷的微透镜阵列与微透镜阵列的形状相反
首先依次组装主体和可拆卸式盖子，然后将模具安装在防震台上。然后将柔性PDMS阴性膜连接到加工成顶盖的球状缺陷的顶部，然后放置并连接微流注射腔室。连接一个真空泵进行抽气，此时，柔性PDMS模板在负压下下沉，并与盖子紧密贴合，形成我们需要的弧度。这里的微孔阵列设计允许在PDMS网板上施加更均匀的力，使负压均匀地分布在网板上，并使薄膜拉伸的各向异性降到最低。负压稳定后，毛细管与微流控注射泵（LSP04-1A，朗格恒流泵有限公司）连接，进行粘合。通过微流控注射室的粘合孔和通气孔固定一定量的过量，以有效清除可能存在的空气和杂质。最后，整个装置被置于紫外线设备下，一旦模塑材料固化，它就被脱模，以获得弯曲的微透镜阵列。
设计中选择的成型材料是NOA81（Norland Optical Adhesive 81，Norland Products Inc.），它具有优良的光学透光性，在可见光波长中保持90%以上的透光率，并且具有高度的耐溶剂性，完全固化后硬度不脆。由于其弹性，该结构能够缓解由振动或环境温度的极端变化引起的应力，从而确保固化的复眼结构的长期性能。此外，在紫外光下的固化速度极快，最快的紫外固化在几十秒内完成，这对保护紫外光刻设备非常重要。

Plant Design Management System v11.6-ISO 1CD(简称PDMS,著名的3D工厂设计管理系统)
PDMS—工厂设计管理系统

　　PDMS是由英国CADCENTRE公司开发研制的面向数据型大型工厂设计管理系统。提供由2D的逻辑模型到3D的实体模型直至交互式虚拟实时模型显示的整体解决方案，涵盖工厂设计的全过程。它不同于80年代占主导地位的以图形为核心的工厂设计系统，如INTERGRAPH的PDS等软件，依靠图形环境及数据库作支撑，需要特殊的硬件设备。以往的2D或3D工厂设计软件包仅仅解决了图纸制作的问题，通过三维建模生成3D工厂模型，再由模型生成平竖面图及管段图，由此工程师们以为找到了解决问题的最终办法。但90年代在满足快速生成图纸的同时，更需一个强大的工厂全过程数据管理，为此CADCENTRE公司提出了“DATA FOR LIFE”的全新概念，即始终坚持数据是任何一个CAD系统的核心，它比图形符号的含义更为重要，这是CADCENTRE公司取得成功的基础，该种以数据为核心的系统不仅全自动生成图纸，也可用于生产，维护及分析，使得数据管理贯穿于从基础设计到最终报废的工厂全过程。
PDMS以其强大的功能，全新的概念，深受用户喜爱，在业内享有极高声誉，领导工厂设计新潮流。
它包括以下的主要模块：
LEGACY—工程图智能化处理
PEGS(Plant EngineerinG System)—工厂概念设计
DESIGN MANAGER—工厂设计管理
PDMS (Plant Design Management System)—三维工厂模型设计系统
PDMS Global—全球工程设计管理
ADVANCED ROUTER FOR PIPING—自动布管系统
STRESSC—与管道应力分析软件CAESAR II的接口
STRUCTURE—与钢结构分析软件STAAD/PRO的接口
PLANT VISUALISATION—工厂三维实体模型虚拟实时漫游
HYPERPLANT—基于INTERNET工程设计
PDMS可以在Unix，WindowNT等系统平台上运行。
CADCENTRE公司最初是由英国政府出资于1967年成立的。1983年成为私人公司，1994年被英国最大的信托投资公司3i公司和剑桥大学收购，1996年12月在伦敦股票交易所上市。全球至今已有数亿美元的工厂装置是采用CADCENTRE公司的技术设计的。

PDMS(Plant Design Management System) 是一种3D工厂设计系统。在PDMS中,多个专业组可以协同设计以建立一个详细的 3D数字工厂模型,每个设计者在设计过程中都可以随时查看其它设计者正在干什么,同时元件信息全部可以存储在参数化的元件库中。PDMS能自动地在元件和各专业设计之间进行碰撞检查,从而在整体上保证设计结果的准确性。PDMS输出的图形符合传统的工业标准 ,此外,它也可以按照你设定的风格和式样输出各种标准的工程报告和材料报表。

PLANT DESIGN &MANAGEMENT SYSTEM