沉积偏压 沉积时间 沉积气压 N2/C2H2(x2) 液氮冷却 随炉冷却
50 5 0.5 0.5 151 69
100 10 1 1 982 343
150 15 2 1.5 742 285
200 20 3 2 110 59
50 10 2 2 298 103
100 5 3 1.5 298 153
150 20 0.5 1 1374 220
200 15 1 0.5 832 247
50 15 3 1 145 64
100 20 2 0.5 254 115
150 5 1 2 521 159
200 10 0.5 1.5 359 121
50 20 1 1.5 322 117
100 15 0.5 2 718 334
150 10 3 0.5 512 207
200 5 2 1 742 256
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