如何设计扩散硅压力传感器硅膜片的刻蚀

压力传感器具有良好的品种，主要有：
1）使用的压力传感器的影响的晶体的压电效应
利用压电效应制造2）李压力传感器，一个传感器是最常见的工业实践中，我们通常使用的压力传感器，该传感器也被称为压电传感器。
？章传感器和测量的基本知识

测量的基本概念??1-1

观测量，测量方法，直接测量的几种方法，仪器的分辨率的精度。

??1-2的强烈和敏感元件的传感器

弹性敏感元件，感的弹性元件的弹性特性：刚度和灵敏度。弹性传感元件的形式中，它的应用范围。

??1-3的一般特性的传感器

静态特性：线性度，迟滞性，重复性，灵敏度。

动态特性：物理概念的传递函数和动态响应。

第二章电阻式传感器和应用

??2-1电阻丝

电阻丝（热阻）的工作原理，材料的热电阻的简单结构中常用的热电阻，工业热电阻传感器（热电阻丝参数形式）

应用范围：主要是讲的测温，扩展热阻流量计。

??2-2电位器

简介的结构，工作原理：介绍了空载特性的线性电位器阶梯功能，分辨率和阶梯误差，短暂的和非线性电位器的负载特性。

原理：电位器式压力传感器，电位器，加速传感器。

??2-3电阻应变计

电阻应变片的作品，介绍应变片的结构和材料。工作特性和参数的电阻应变片电阻应变片温度误差补偿方法。

介绍半导体应变计，应变计测量电路介绍。

应用：应变式力传感器，应变式压力传中，应变式加??速度传感器。

章电感式传感器及应用

??3-1自感公式

封闭磁电路中的可变间隙和开放磁场的电磁作品的功能（包括差分）。

配备电路：AC桥梁。

的应用：静态和动态的量的测量线的位移量，测量力，压力，扭矩。

??3-2差动变压器

差动变压器的基本原则。电磁工程，结构，特点，零残留的电压和消除。

配备电路：差分相敏检波电路和相敏整流电路的介绍。

应用范围：位移测量，振动和加速度的测量，压力测量。

??3-3涡流

工作原理的基本知识，形成的涡电流的范围内，测得的材料，形状和大小的传感器灵敏度。

关于配备电路中的应用实例。

??3-4压磁

被称为磁弹性的类型。

压磁效应，磁传感器的压力的基本结构，工作原理，特性和应用。

章的电容型传感器和应用

??4-1电容式传感器的特性和结构形式

的工作原理，结构，静态特性（可变间隙，变面积，变介电常数型）。

??4-2电容式传感器的特点及应用

特性与电路介绍。

应用产品：压力传感器，加速度传感器，负荷传感器，位移传感??器等。

章谐振式传感器及应用

??5-1振弦式

结构，工作原理和激励机制。

应用范围：振弦式压力传感器，压力传感器，振梁，振弦式扭矩传感器。

??5-2振动筒

结构，工作原理，振动频率和压力。

应用：振动筒式压力传感器，振动管密度传感器的。

??5-3振动膜

的结构，工作原理和应用。

第六章光线感应器和应用程序

??6-1真空光电

光电转换的光电阴极，真空光电管真空光电倍增管的真空原则。

??6-2感光元件

闪光电效应，光敏电阻，光电二极管和光电晶体管的光谱特性和应用。

??6-3光栅

光栅传感器的结构，工作原理，分割技术。

第七章电动势传感器

??7-1热电偶

热电偶工作原理，材料和常用的热电偶，结构，冷端处理和测量误差，延长线中的应用。

??7-2光电

光伏效应，硅光伏电池。

??7-3压电石英晶体的压电陶瓷

的压电效应的石英晶体，人工的铁电陶瓷的压电效应的压电材料（压电元件的应力状态和变形模式）和电路（电荷放大器）配备简介。

应用范围：压电测力传感器，频率测量。

??7-4霍尔元件

霍尔效应，结构和基本电路，霍尔元件，霍尔元件的温度补偿的特征参数，电势补偿和等位基因。

应用：微位移的测量，测量的磁场

??7-5磁电

的基本原理和结构的非线性误差补偿。

应用：测量的振动，转矩测量。

第八章其他半导体传感器和应用

??8-1热敏电阻

特点：材料特性，适应和应用。

??8-2状态压敏电阻

安森美半导体的压阻效应，扩散硅压阻器件结构的个人。

应用范围：压阻式压力传感器，压阻式加速度传感器。

??8-3湿敏电阻

湿敏电阻的结构和工作原理，特点及应用

湿敏电容的结构和工作原理，特点及应用

??8-4磁性元件

磁二极体及磁性晶体管的原理，特点及应用。

??8-5气体传感器

工作原理，特点及应用半导体气敏电阻。

？

？我们知道，该晶体是各向异性的，非晶体是各向同性的。某些晶体的介质，发生变形时，沿着一定的方向上的机械力，以产生的偏振效应;除去的机械力时，将返回到非充电状态，即，在压力下，当这些晶体可能会产生电的效果，这就是所谓的极化效应。科学家们开发了一个压力传感器是基于这种效果。

？压电传感器主要使用的压电材料包括石英，钠，钾，酒石酸和磷酸二氢铵。其特征在于，石英（二氧化硅）是一种天然晶体，压电效应是要发现在这种晶体，已经在一定的温度范围内，压电特性，但之后的温度超过该范围，则压电性能的完全消失（高的温度称为居里点（Curie point）“）。随着应力变化的电场略有不同（也所述压电系数??是相对低的），更换石英逐渐其他压电晶体，酒石酸钠钾，有很大的压电灵敏度和压电系数，但它是只在一个相对低的环境温度和湿度的环境中，可以施加到< - adcode - >

。磷酸二氢铵的人工晶体，能够承受高的温度和比较高的湿度，所以已广泛应用。

？

？也施加在压电效应上的多晶，如包括的压电陶瓷中的钛酸钡，PZT，铌酸盐类的压电陶瓷，铌酸铅镁的压电陶瓷等的压电陶瓷。

？的是压电效应的压电传感器的主要工作原理，压电传感器不能用于静态测量后，因为被施加的外力后的电荷，并仅在该电路具有一个输入阻抗无穷大，只保存。实际情况不是这样的，所以这个决定的压电传感器只能测量动态压力。

？？？？压电传感器主要用于测量加速度，压力和力。一种压电加速度传感器是一种常用的加速度计。它具有结构简单，体积小，重量轻，寿命长，优良的特性。压电式加速度传感器在飞机，汽车，船舶，桥梁和建筑的振动和冲击测量已经得到了广泛的应用，尤其是在航空和航天的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部??燃烧压力的测量和测量的真空度。也可以用在军工，例如，用它来衡量的瞬间开枪，子弹在枪管膛的枪口冲击波压力变化和压力。它可以被用于测量大的压力，也可以用来测量微小的压力。

？在生物医学测量压电式传感器也被广泛使用，例如，脑室导管下降阻尼器制成的压电式传感器测量动态压力是如此普遍的压电传感器的应用很广泛。

？除了压电传感器，压阻式传感器的制造使用压阻效应，使用的应变的影响，应变计传感器，等等，这些不同的压力传感器，使用不同的材料的不同的效果，它们是能够在不同的播放场合独特的用途。
该板的位移引起的压力的电容式压力传感器。