所谓真空热处理，与普通热处理的原理没有多大区别，只不过零件加热时的周围环境处于真空状态，避免了普通热处理在空气中加热时所发生的氧化、脱碳现象的产生，使得零件热处理后表面光洁、没有氧化皮，外观感觉漂亮，由于没有氧化皮，所以零件尺寸可以精确一些，减少了机械加工余量，降低了机械加工成本，但是却提高了热处理成本，最终成本的高低主要看谁占主要。
