主要是指测试的精确度，一般来说XRF的测试精度比较低，一般测试结果做得比较理想的情况都有10%以上的误差，同时看在应用在哪些方面的测试，测什么基材的什么元素，本底的影响等。
一般是定性分析，现在XRF应用在ROHS比较多，它主要来进行定性分析，看看是否达到ROHS标准要求。当然如果要求不高的百分比的含量测量是可以达到精度要求的，是可以定性的，同时可以多用标样来提高它的测试精确度。
基本介绍
现代X射线荧光光谱分析仪由以下几部分组成：X射线发生器（X射线管、高压电源及稳定稳流装置）、分光检测系统（分析晶体、准直器与检测器）、记数记录系统（脉冲辐射分析器、定标计、计时器、积分器、记录器）。不同元素具有波长不同的特征X射线谱，而各谱线的荧光强度又与元素的浓度呈一定关系，测定待测元素特征X射线谱线的波长和强度就可以进行定性和定量分析。
以上内容参考：百度百科-X射线荧光光谱分析
XRF:X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence)人们通常把X射线照射在物质上而产生的次级X射线叫X射线荧光（X—Ray Fluorescence），而把用来照射的X射线叫原级X射线。所以X射线荧光仍是X射线。一台典型的X射线荧光（XRF）仪器由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。X射线照在物质上而产生的次级 X射线被称为X射线荧光。利用X射线荧光原理，理论上可以测量元素周期表中铍以后的每一种元素。在实际应用中，有效的元素测量范围为9号元素 （F）到92号元素（U）。
a) X射线用于元素分析，是一种新的分析技术，但在经过二十多年的探索以后，现在已完全成熟，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域。
b) 每个元素的特征X射线的强度除与激发源的能量和强度有关外，还与这种元素在样品中的含量有关。
c) 根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。这就是X射线荧光分析的基本原理。
主要是指测试的精确度，一般来说XRF的测试精度比较低，一般测试结果做得比较理想的情况都有10%以上的误差，同时看在应用在哪些方面的测试，测什么基材的什么元素，本底的影响等。一般是定性分析，现在XRF应用在ROHS比较多，它主要来进行定性分析，看看是否达到ROHS标准要求。当然如果要求不高的百分比的含量测量是可以达到精度要求的，是可以定性的，同时可以多用标样来提高它的测试精确度。
定性分析就是看看测量的样品有什么元素，一般是全元素的分析；
定量分析，分为半定量和定量，半定量一般公司的XRF仪器都有而且是XRF方便快捷的特征，但是存在误差较大，一般5—10%，这个是随着含量和原子序数的增加，准确度就越高，Na以前的元素参考性很低，定量分析，一般需要10-20个标样来校准制作标准曲线，这个准确度就会很高了，
具体操作每台仪器不太一样，请查看仪器说明书，百度文库上查到过布鲁克公司的使用说明。
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