NOX的生成途径有三种: ①热力型NOX,指空气中的氮气在高温下氧化而生成NOX; ②燃料型NOX,指燃料中含氮化合物在燃烧过程中进行热分解,继而进一步氧化而生成NOX; ③快速型NOX,指燃烧时空气中的氮和燃料中的碳氢离子团如CH等反应生成NOX。 在这三种形式中, 在温度低于1300℃时,几乎没有热力型NOX；快速型NOX所占比例不到5%;对于常规燃煤锅炉而言,NOX主要通过燃料型生成途径而产生。
