用高压水射流切割机,不过普通的切割机恐怕不行,因为喷嘴太大了,要用前混合水射流切割机床,喷嘴普通的可以做到0.25mm,甚至可以做到50um,而且是绝对的冷切割,没有热应力。我在深圳工作的时候有用过这个切割硅片的。