①被测量气体组分变化较大的场所，因cp值和热导率变化，测量值会有较大变化而产生误差; ②对小流量而言，仪表会给被测气体带来相当热量; ③对于热分布式热式质量流量计，被测气体若在管壁沉积垢层影响测量值，必须定期清洗对细管型仪表更有易堵塞的缺点，一般情况下不能使用; ④对脉动流在使用上将受到限制; ⑤液体用热式质量流量计对于粘性液体在使用上亦受到限制。